質(zhì)量流量控制器,即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
氣體質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細(xì)管流通能力的測量,當(dāng)定壓測流的時候,用質(zhì)量流量計;當(dāng)定流測壓時,需要用質(zhì)量流量控制器。注意,當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時,也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用,只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。
